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原子层沉积法中AlOx薄膜厚度对表面钝化效果的研究

上传者: 2020-07-16 16:30:21上传 PDF文件 900.92KB 热度 19次
原子层沉积法中AlOx薄膜厚度对表面钝化效果的研究,谢洪丽,张炳烨,本文采用原子层沉积法 (ALD) 在p型制绒单晶硅 (c-Si) 表面生长了不同厚度的AlOx 薄膜,通过改变生长周期控制AlOx 薄膜的厚度,并对钝化和�
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