基于原子层沉积的大曲率基底表面薄膜均匀性研究

通过建立原子层沉积(ALD)脉冲气体流场理论模型, 分析了沉积过程中前驱体浓度的变化趋势, 得到了原子层沉积腔中的优化沉积区域。在此基础上, 开展了半球基底上Al2O3和TiO2薄膜的均匀性实验。实验结果表明, 最佳优化区域内Al2O3和TiO2薄膜的最大非均匀性分别为1.81%和1.74%, 相比于非优化区域分别减小了47.1%和50.8%。当入射激光与半球中心轴的夹角为θ=0°时, 制备的减反膜反射率在550 nm处达到最小值0.04%, θ=60°时反射率最大, 为0.5%, 而在其余位置反射率曲线均存在不同程度的偏移, 当θ=60°时, 偏移最大, 为6 nm。