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原子层沉积技术制备Cu2O薄膜材料的研究进展

上传者: 2020-07-21 03:12:13上传 PDF文件 840.99KB 热度 19次
原子层沉积技术制备Cu2O薄膜材料的研究进展,潘景薪,李超群,本文介绍了原子层沉积技术的原理及优势,概述了原子层沉积技术在Cu2O薄膜材料制备方面的应用,总结了原子层沉积技术影响Cu2O薄膜质�
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