原子层沉积技术制备Cu2O薄膜材料的研究进展

Name: 原子层沉积技术制备Cu2O薄膜材料的研究进展
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Author: 超级小小

上传者：超级小小 2020-07-21 03:12:13上传 PDF文件 840.99KB 热度 42次

原子层沉积技术制备Cu2O薄膜材料的研究进展，潘景薪，李超群，本文介绍了原子层沉积技术的原理及优势，概述了原子层沉积技术在Cu2O薄膜材料制备方面的应用，总结了原子层沉积技术影响Cu2O薄膜质�

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