调相激光干涉仪测量吸收薄膜参数的研究

本文介绍了调相激光干涉仪测量薄膜n,k,d的工作原理,探讨了单层吸收膜的测量参量P、Q、Δ与n,k,d的关系;相位差Δ的取值;测量参量的自校准以及P、Q和修正因子F的实验检验问题,给出了数据处理方法和程序框图.本文还对三种薄膜样品(一种弱吸收膜,两种强吸收膜)的n、k、d进行了测量和计算,并将其结果与椭圆偏振仪的测定结果进行了比较.