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交替磁控溅射法制备SiC/ZnO纳米颗粒的微观结构及发光机理研究

上传者: 2020-04-19 21:44:48上传 PDF文件 789.23KB 热度 18次
交替磁控溅射法制备SiC/ZnO纳米颗粒的微观结构及发光机理研究,郑越,师春生,本文采用了交替磁控溅射以及在N2保护下退火成功制备了SiC/ZnO纳米颗粒膜,实验结果表明:退火温度对SiC/ZnO纳米颗粒膜的微观结构和发�
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