论文研究Sub65nm Halo注入对NMOS阈值电压不匹配性影响的研究 .pdf
Sub-65nmHalo注入对NMOS阈值电压不匹配性影响的研究，赵杰，程秀兰，本文主要介绍关于通过Halo离子注入来改善sub-65nmNMOS器件阈值电压不匹配性.随着半导体器件尺寸的不断缩小，制程工艺的波动对阈值电压
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