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论文研究 正背栅SOI MOSFET二维阈值电压解析模型 .pdf

上传者: 2020-07-16 23:28:47上传 PDF文件 490.85KB 热度 10次
正背栅SOI-MOSFET二维阈值电压解析模型,邵隽,张国和,通过建立沟道区域和埋氧区域的二维泊松方程,并考虑衬底区域的掺杂和背栅偏压对器件阈值电压的影响,得到了一种正背栅全耗尽SOI-MO
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