论文研究铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究 .pdf 上传者：Xieminsen 2020-01-02 23:13:41上传 PDF文件 417.48KB 热度 32次 铝垫工艺pits缺陷的形成机理和改善研究，郭浩，，在集成电路制造中，Al具有在空气中稳定，且其工艺廉价和成熟的特点。这使其在90纳米甚至更微小尺寸的工艺技术的远后段制程中必不�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 Xieminsen 资源：19548 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
