1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 论文研究SiC单晶生长动力学模型和缺陷形成机制的研究 .pdf

论文研究SiC单晶生长动力学模型和缺陷形成机制的研究 .pdf

上传者: 2020-01-30 05:11:26上传 PDF文件 285.01KB 热度 25次
SiC单晶生长动力学模型和缺陷形成机制的研究,徐伟,刘雪绞,近年来大直径SiC单晶体的生长是国内外研究的重点,SiC是一种宽带隙半导体材料、第三代半导体材料的代表。物理气相传输法(PVT)是生
下载地址
用户评论