论文研究铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控 .pdf 上传者：houguof 2020-03-13 13:52:40上传 PDF文件 618.12KB 热度 39次 铝垫工艺晶须缺陷的改善及管控，柳小敏，黄其煜，随着集成电路线宽尺寸的减小，对各工艺层缺陷的消除及管控变得更加重要。晶须缺陷是铝垫工艺中的一种常见缺陷，它会阻挡铝刻蚀工 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
