氩离子辐照对ZrO2-Y2O3薄膜的结构影响(1993年) 上传者：mybush 2024-07-08 06:07:53上传 PDF文件 256.81KB 热度 27次 为了研究离子辐照对薄膜结构的影响，对氲离子辐照磁控溅射沉积的Zr02-8%（m/m）Y2O3薄膜。用XRD、AES及XPS进行微观分析。结果表明，溅射沉积的无定形薄膜经离子辐照后发生了晶化，膜内元素与基体元素发生了显著的混合，表面污染的碳向膜内迁移。此外，还研究磁控溅射沉积ZrO2-8%（m/m）Y2O3薄膜氩离子辐照前后表面Zr（3d），Y（3d），o（ls）结合能的位移情况。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
