氩离子辐照对ZrO2-Y2O3薄膜的结构影响(1993年) 上传者：mybush 2024-07-08 06:07:53上传 PDF文件 256.81KB 热度 5次 为了研究离子辐照对薄膜结构的影响，对氲离子辐照磁控溅射沉积的Zr02-8%（m/m）Y2O3薄膜。用XRD、AES及XPS进行微观分析。结果表明，溅射沉积的无定形薄膜经离子辐照后发生了晶化，膜内元素与基体元素发生了显著的混合，表面污染的碳向膜内迁移。此外，还研究磁控溅射沉积ZrO2-8%（m/m）Y2O3薄膜氩离子辐照前后表面Zr（3d），Y（3d），o（ls）结合能的位移情况。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 mybush 资源：459 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
