退火对非晶态Er2O3薄膜结构和电学特性的影响

通过使用React蒸发将非晶Er(2)O(3)膜沉积在Si(001)衬底上。 本文报道了在氧气气氛中,随着退火温度的变化,结构,形态和电特性的变化。 X射线衍射和高分辨率透射电子显微镜测量表明,即使在700摄氏度退火后,薄膜仍保持非晶态。在450摄氏度退火的Er(2)O(3)薄膜的累积区域中的电容高于该薄膜。沉积的薄膜和在其他温度下退火的薄膜。 提出了Er(2)O(3)/ ErO(x)/ SiO(x)/ Si结构模型来解释结果。 退火后的薄膜还表现出低的漏电流密度(在-1 V偏压下约为1.38 x 10(-4)A / cm(2)),这是由于退火后薄膜的形貌和成分的变化所致。