离子溅射技术对薄膜性能的影响 上传者:前端小伙 2021-03-03 02:32:28上传 PDF文件 1.3MB 热度 53次 运用离子溅射沉积技术制备光学增透膜,着重研究离子溅射技术对制备的薄膜性能的影响, 包括表面形貌、 折射率、薄膜弱吸收、薄膜结构等性能,分析离子溅射技术的特点及制备薄膜的局限性。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论