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离子溅射技术对薄膜性能的影响

上传者: 2021-03-03 02:32:28上传 PDF文件 1.3MB 热度 19次
运用离子溅射沉积技术制备光学增透膜,着重研究离子溅射技术对制备的薄膜性能的影响, 包括表面形貌、 折射率、薄膜弱吸收、薄膜结构等性能,分析离子溅射技术的特点及制备薄膜的局限性。
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