论文研究 电压衬度检测方法在28nm晶圆钨缺失缺陷改善的探索和应用 .pdf
电压衬度检测方法在28nm晶圆钨缺失缺陷改善的探索和应用,龙吟,李海华,本文旨在探索电子束(E-beam)扫描所产生的电压衬度(Voltage Contrast)在28nm技术节点晶圆上的缺陷检测方法,并建立缺陷监控指标,以此�
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