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等离子体压缩化学气相沉积法制备的立方氮化硼薄膜中残余压缩应力引起的六方氮化硼在六方氮化硼中的红外吸收频移

上传者: 2021-04-04 08:40:15上传 PDF文件 1.11MB 热度 10次
等离子体压缩化学气相沉积法制备的立方氮化硼薄膜中残余压缩应力引起的六方氮化硼在六方氮化硼中的红外吸收频移
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