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掺氮对溅射沉积a GaAs1 xNx薄膜载流子浓度的影响

上传者: 2021-04-20 02:08:36上传 PDF文件 65.46KB 热度 15次
掺氮对溅射沉积a-GaAs1-xNx薄膜载流子浓度的影响
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