一种用于MEMS流量传感器的ΣΔADC

为了实现MEMS流量传感器集成式高精度数字化输出,设计了一款单环2阶Σ∆模数转换器。阐述了MEMS流量传感器工作原理,确定了调制器结构及环路参数。利用dither技术,提高了调制器动态性能。对调制器的各种非理想因素分析,建立非理想模型,仿真结果表明:过采样率为512,调制器信噪比达到106 dB。设计了CIC+IIR抽取滤波器,FPGA验证结果表明,滤波器实现了64倍降采样,滤波器输出数据有效位数达到16 bits。