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论文研究MEMS气体传感器微热盘建模与仿真 .pdf

上传者: 2019-09-28 23:09:42上传 PDF文件 307.77KB 热度 40次
MEMS气体传感器微热盘建模与仿真,张卫东,丁恩杰,本文设计了两种以Pt为加热电极,SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。通过有限元仿真分析了两种微热盘的稳态特性,加热温度达��
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