准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO

采用准分子脉冲激光沉积法(PLD)分别在Pt/Ti/SiO2/Si和SiO2/Si衬底上制备了ZrO2薄膜,采用扩展电阻法(SRP)研究了薄膜纵向电阻分布;采用X射线衍射法(XRD)研究了衬底温度对ZrO2薄膜结晶性能的影响;精确测试了薄膜的表面粗糙度;讨论了薄膜结晶性能与其电学I-V特性之间的关系。