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沉积温度对非晶碳薄膜结构影响的研究

上传者: 2020-08-07 20:37:36上传 PDF文件 523.45KB 热度 18次
沉积温度对非晶碳薄膜结构影响的研究,章晓中,万蔡华,铁掺杂的非晶碳薄膜用脉冲激光沉积技术沉积于硅衬底之上。针对这种异质结的电流电压测试显示异质结势垒高度在300摄氏度以下逐渐减
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