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用于逻辑应用的MOCVD在Lg = 0.13um变质AlInAs / GaInAs HEMT的异质外延

上传者: 2021-03-14 14:46:05上传 PDF文件 1.5MB 热度 9次
用于逻辑应用的MOCVD在Lg = 0.13um变质AlInAs / GaInAs HEMT的异质外延
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