248 nm纳秒激光沉积类金刚石增透保护膜的工艺研究 上传者:llun83215 2021-03-11 09:18:03上传 PDF文件 1.72MB 热度 20次 激光沉积的类金刚石膜是红外窗口增透保护膜的极佳选择。采用波长248 nm 的纳秒脉冲激光沉积硅基底类金刚石膜,研究了不同脉冲能量对膜层光学性能、机械硬度及内应力等工程应用参数的影响。实验发现,随着准分子激光脉冲能量的提高,类金刚石膜样品的红外透射率和表面硬度逐步提高,表明高能量有利于沉积光学级类金刚石保护膜;但同时,膜层的内应力也随着激光脉冲能量的提高而增大,不利于膜层在基底上的附着,需要采用其他技术和工艺消除内应力过大的问题。分析结果为纳秒脉冲激光沉积类金刚石膜的研究提供了实践基础。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 llun83215 资源:470 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com