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电镀金刚石盘抛光CVD金刚石膜的工艺研究

上传者: 2020-07-17 20:57:29上传 PDF文件 798.74KB 热度 20次
电镀金刚石盘抛光CVD金刚石膜的工艺研究 ,苑泽伟,何艳,CVD金刚石具有优良的物理化学特性被应用于刀具、光学、热学和半导体领域。但由于生长机理的限制,CVD金刚石表面比较粗糙,必须通过
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