金刚石膜中氮掺杂行为的研究

氮掺杂金刚石膜已通过EA-CVD(电子辅助化学气相沉积)技术合成。 金刚石膜的质量和氮杂质态分别用SEM,拉曼光谱,XPS和EPR光谱表征。 结果表明,随着氮流量的增加,形态从清晰的面变为菜花状结构,无定形碳的含量增加,质量下降。 此外,在膜中,可以观察到氮杂质以Ns 0 ,[NV] 0和[NV] -1的形式存在。 当氮气流量较高时,[NV] 0和[NV] -1的含量较低,Ns0的浓度在15 ppm至483 ppm之间变化。