超薄类金刚石膜的制备和性能分析 上传者：yananwin 2020-07-17 23:24:33上传 PDF文件 992.54KB 热度 51次 超薄类金刚石膜的制备和性能分析，钟敏，王慧，本文采用离面双弯曲过滤阴极真空弧沉积系统，在单晶硅片上沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜（AFM）对其表面形貌进行观察，并用透 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
