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超薄类金刚石膜的制备和性能分析

上传者: 2020-07-17 23:24:33上传 PDF文件 992.54KB 热度 24次
超薄类金刚石膜的制备和性能分析,钟敏,王慧,本文采用离面双弯曲过滤阴极真空弧沉积系统,在单晶硅片上沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行观察,并用透
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