基于FBG传感技术的微机电甲烷传感器

提出了一种基于布拉格光栅应变传感技术的微机电甲烷传感器结构。该结构由光波导和布拉格光栅应力传感器,及双端固定微型双金属梁、甲烷无焰燃烧催化剂薄膜层、温度补偿光栅等主要结构组成。通过数值模拟得出波长漂移量与甲烷浓度间的线性关系,与传统催化型甲烷传感器比较,该微结构可以通过MEMS加工工艺制造,具有体积小、功耗小、易校准、便于组网等优点。