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熔石英的快速激光刻蚀

上传者: 2021-02-21 03:00:47上传 PDF文件 4.42MB 热度 16次
使用10.6μm连续波CO_2激光和几种工作气体,对熔石英实现了快速的激光刻蚀.得到了刻蚀速度高于200μm/s的干净、光滑的表面;并根据所提出的机理对观察到的实验结果进行了解释.
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