紫外激光刻蚀多层线路板初步研究

描述了固体倍频紫外激光在355 nm和266 nm,不同聚焦透镜实验条件下,对多层电路板的微刻蚀实验,进行了其传热一维模型的理论推导,并得到了在实验条件下最佳的理论参数为波长266 nm,峰值功率大于2×10 6 J/s,聚焦透镜焦距为200 mm,为激光修复多层线路板的工业应用提供了一定的实验依据。