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蓝宝石选择性激光刻蚀技术的研究进展

上传者: 2020-07-17 20:31:32上传 PDF文件 603.02KB 热度 18次
蓝宝石选择性激光刻蚀技术的研究进展 ,宋学辉,曲正坤,蓝宝石是红外光学、衬底材料、高温高压环境光学元件的重要材料,在军事和民用领域都有广泛应用。然而,因蓝宝石的高硬度和高化学
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