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量子阱无序的窗口结构InGaAs/GaAs/AlGaAs量子阱激光器

上传者: 2021-02-20 02:50:41上传 PDF文件 958.99KB 热度 21次
对SiO2薄膜在快速热退火条件下引起的空位诱导InGaAs/GaAs应变量子阱无序和SrF2薄膜抑制其量子阱无序的方法进行了实验研究。并将这两种技术的结合(称为选择区域量子阱无序技术)应用于脊形波导InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器,研制出具有无吸收镜面的窗口结构脊形波导量子阱激光器。该结构3μm条宽激光器的最大输出功率为340 mW,和没有窗口的同样结构的量子阱激光器相比,最大输出功率提高了36%。在100 mW输出功率下,发射光谱中心波长为978 nm,光谱半宽为1.2 nm。平行和垂直方向远场发散角分别为7.2°和30°
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