扩散系数随杂质浓度变化时的杂质分布

杂质的扩散系数D不仅与杂质的激活能和温度有关,而且还与杂质浓度有关。当杂质的浓度远小于该扩散温度下硅片的本征载流子浓度ni时,杂质的扩散系数为本征扩散系数Di;当杂质的浓度大于该扩散温度下硅片的本征载流子浓度时,由于自建电场的“场助效应”,杂质的扩散系数随杂质的浓度增大而增大。当杂质的浓度变化很小的时候,可以认为杂质的扩散系数不变。根据杂质的扩散系数对杂质浓度的变化对I区和III区的杂质分布进行修正。 (1)在I区,由方程(3.47)可以得到在x=0处杂质的浓度: (3.71) 又由于D2<<D1 所以 (3.72) 杂质的浓度在I区变化很小,不论杂质的浓度的高