杂质从I区向II区扩散 上传者：ttlcoms 2020-12-13 10:30:04上传 PDF文件 27.21KB 热度 33次 由于As在Si和SiO2中固溶度不一样,定义杂质在Si和SiO2中的平衡浓度之比为分凝系数,故从I区向II区扩散时,As的浓度在Si/SiO2界面处将按分凝系数m的比例进行分配。杂质在I、II区在的扩散方程为: 解上面的方程得出[12]: 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
