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杂质从I区向II区扩散

上传者: 2020-12-13 10:30:04上传 PDF文件 27.21KB 热度 10次
由于As在Si和SiO2中固溶度不一样,定义杂质在Si和SiO2中的平衡浓度之比为分凝系数,故从I区向II区扩散时,As的浓度在Si/SiO2界面处将按分凝系数m的比例进行分配。杂质在I、II区在的扩散方程为: 解上面的方程得出[12]:
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