基于低压驱动RFMEMS开关的MEMS开关改进 上传者：whd29781 2020-10-28 06:18:02上传 PDF文件 143.26KB 热度 41次 本文主要从结构上进行了创新,通过计算机辅助设计仿真分析得到了理论解,一定程度上满足了设计初衷,但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题,另外如何保证实际产品的可靠性、实用性也是未来的研究重点。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
