基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关力学模拟/疲劳分析

1 引言RFMEMS开关是利用静电吸附力来控制微桥或;悬臂的上下运动从而实现开、关特性,它广泛应用于射频微波、毫米波领域。目前主要有两种MEMS开关类型:悬浮臂接触式和并联电容式。MEMS开关具有低插损(0.1dB)、高绝缘(40dB,2GH2)、易于集成和能处理大功率(1-2W)等优点川。悬浮臂接触式开关由悬臂、金属接触点和静电驱动机械部分组成,其驱动电压相对较低且在实际电路中应用灵活,但其在工艺上实现起来比较困难,可靠性相对较差。对其进行软件模拟,从而对其参数进行优化,可以减少工艺上不必要的过程。本文目前是利用ANSYS对悬臂梁接触开关进行力电耦合分析,根据分析结果来修改开关的结构尺寸,从