基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关的力学模拟和疲劳分析

基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关的力学模拟和疲劳分析 李成诗,郭方敏,赖宗声, 葛羽屏,徐欣 朱自强,陆卫(1.华东师范大学电子科学技术系,上海200062;2.中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室,上海200083) 1 引言RFMEMS开关是利用静电吸附力来控制微桥或;悬臂的上下运动从而实现开、关特性,它广泛应用于射频微波、毫米波领域。目前主要有两种MEMS开关类型:悬浮臂接触式和并联电容式。MEMS开关具有低插损(0.1dB)、高绝缘(40dB,2GH2)、易于集成和能处理大功率(1-2W)等优点川。悬浮臂接触式开关由悬臂、金属接触点和静电驱动机械部分组成,其驱动电压