图文详解MEMS压力传感器原理与应用

Name: 图文详解MEMS压力传感器原理与应用
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Author: patrick47182

上传者：patrick47182 2020-10-28 05:54:12上传 PDF文件 342.72KB 热度 60次

MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

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