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MEMS压力传感器及其应用

上传者: 2020-10-28 01:32:09上传 PDF文件 216.53KB 热度 17次
MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。
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