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探究MEMS压力传感器及其应用

上传者: 2020-08-13 22:40:02上传 PDF文件 310.83KB 热度 27次
MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。本文主要探究MEMS压力传感器及其应用。
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