图解MEMS压力传感器原理与应用 上传者:ws97243 2020-10-28 04:13:52上传 PDF文件 336.7KB 热度 48次 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论