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MEMS压力传感器原理与应用

上传者: 2020-10-28 05:45:48上传 PDF文件 182.77KB 热度 19次
MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
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