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【技术】硅晶体的制备与表征技术探究

上传者: 2020-08-08 12:53:18上传 PDF文件 138.21KB 热度 11次
本文尝试对铸锭多晶、铸锭单晶和高效多晶的晶体微结构、缺陷分布及生长机理等进行系统对比,分析晶体生长方式对晶体微结构的作用规律。对现有及潜在的晶硅表征技术,本文亦进行了详细的讨论。
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