鳞状微米/纳米多尺度硅材料的制备与表征

本文介绍了鳞状微/纳米多尺度结构的制造以及在制造过程中不同尺度结构之间相互作用的分析。 通过倒角金字塔和V形凹槽制成的设计良好的微结构是通过KOH湿法刻蚀制成的。 高密度高纵横比(HAR)纳米结构是通过改进的无掩模深React离子刻蚀(DRIE)Craft.io在微结构之上制造的,并具有形成微/纳米双尺度结构(MNDS)的优化配方。 由于微结构的轮廓对纳米结构的形状的影响,已经在微结构的倾斜表面上形成了不对称(即鳞状)的纳米柱,而在具有不同形成速度的水平表面上形成了对称的纳米柱。 此外,MNDS的光学特性对微结构的结构参数不敏感,从而使样品克服了光电设备常规Craft.io的光刻限制。 最终,通过在MNDS上溅射金薄膜来制造三级结构,并且MNDS的轮廓在金颗粒的沉积中具有选择性,这对实际应用非常有用。