硅基微纳光波导损耗特性的表征技术

微纳光波导的基本功能是实现光波的低损耗传输, 是芯片光互连的基础, 其传输损耗是评价微纳光波导加工质量和传输性能的基本指标。微纳光波导由于其尺寸比常规光波导小1~2个数量级, 光耦合的难度和不确定性都很大, 造成传输损耗的测量相对困难。探讨了可用于微纳光波导传输损耗测试表征的几种方法, 包括截断法、法布里-珀罗(Fabry-Pérot,F-P)腔谐振谱条纹对比度分析法、傅里叶(Fourier)变换法等, 对上述方法在测试精度、适用条件方面进行了分析对比。研究表明, 截断法受光纤耦合不确定性的影响测量误差较大; F-P腔谐振谱条纹对比度分析法能够消除光纤耦合不确定带来的误差, 但是只能测量单一F