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基于宏孔硅的二维晶体制备与模拟

上传者: 2020-04-15 18:31:02上传 PDF文件 822.14KB 热度 12次
基于宏孔硅的二维晶体制备与模拟,梁超,王国政,采用硅光电化学腐蚀、整形技术与半导体微细加工工艺相结合的方式,在n型(100)晶向硅衬底上制作出正方晶格方形空气柱的二维光子�
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