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反应溅射TiO

上传者: 2021-05-05 05:05:54上传 PDF文件 830.88KB 热度 11次
报道了反应溅射沉积TiO2薄膜,得到TiO2薄膜的特性如沉积速率、透射率、导电性能、吸收系数等与反应气体的流量、溅射功率有关。通过控制氧气的流量,得到具有良好导电性能和-定吸收的特殊性能的TiO2薄膜。
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