工业电子中的磁控溅射制作金红石——TiO2

郭兴龙1,于先进2,薛成山1,董志华1,高海永1(1.山东师范大学半导体研究所,山东 济南 250014;2.山东理工大学化学工程学院,山东 淄博)摘要:用磁控溅射方法制备了粒径大小为20nm的金红石——TiO2,用X射线(XRD)和扫描电镜(SEM)观察表面形貌,局部表观致密,颗粒大小均匀。 关键词:磁控溅射;纳米粒子;TiO2中图分类号:TN305.92;Tf823 文献标识码:A文章编号:1671-4776(2003)12-0020-021引言纳米TiO2因其具有许多特殊性能,诸如屏蔽紫外线、远红外吸收稳定性好、白度高、无毒无味等备受商家青睐。1972年,A.Fujishima和K.Ho