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大面积金刚石自支撑膜的机械抛光新技术

上传者: 2020-07-22 10:49:57上传 PDF文件 323.42KB 热度 25次
大面积金刚石自支撑膜的机械抛光新技术,郭世斌,曲杨,本文研究了一种用抛光等离子体溅射CVD法制备的金刚石自支撑膜新的机械抛光技术。试验探索了转盘转速、金刚石粉颗粒尺寸、磨盘表面
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