直流诱导的高功率脉冲非平衡磁控溅射 上传者：dhy68643 2020-07-20 06:17:32上传 PDF文件 358.8KB 热度 36次 直流诱导的高功率脉冲非平衡磁控溅射，牟宗信，贾莉，发表了直流诱导的高功率脉冲非平衡磁控溅射模式的现象和机制分析。常规圆形平面磁控靶与同轴线圈构成非平衡磁控溅射靶，同轴线圈 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
