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单晶硅纳米刻划加工的试验研究

上传者: 2020-07-20 03:09:34上传 PDF文件 558.49KB 热度 11次
单晶硅纳米刻划加工的试验研究,张俊杰,姜雨琦,本文采用MTS Indenter XP和圆锥探针对具有(010)、(110)和(111)三种不同晶体取向的单晶硅进行了纳米压痕和纳米刻划试验,研究了材料微观变形
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