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氧化铝对单晶硅表面的纳米磨损研究

上传者: 2020-07-16 14:20:56上传 PDF文件 705.48KB 热度 20次
氧化铝对单晶硅表面的纳米磨损研究,肖晨,刘潇枭,氧化铝材料具有较长的使用寿命,是优良的单晶硅抛光研磨颗粒材料;研究其对单晶硅表面的磨损行为,对氧化铝/硅化学机械抛光体系�
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